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ハードディスク向け 自動欠陥検査AFM
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XE-HDMにより、基板/メディアメーカーは、HDD業界向けに開発された最も平坦な基板を監視できるようになりました。
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XE-HDMの業界最低水準のノイズフロア（0.5Å未満）と完全非接触モードによって、一貫性があり、繰り返し誤差が少なく、再現性のあるサブナノスケールの荒さ測定が実現します。
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スライダーの浮上量削減に対するニーズは高まる一方ですが、それに対応するために、HDD業界へのサプライヤーは超平坦基板の開発を続けています。しかし、そのような基板のサブナノスケールの荒さを測定できる、正確かつ信頼できる計測ツールは、これまで存在しませんでした。
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新装置XE-HDMは欠陥検査工程のスループットを格段に高速にします。従来の欠陥検査装置に比べて10倍は高速で自動欠陥検査を可能にします。
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パークシステムズの提案するXE-HDMは、ハードディスク基板・メディア上の欠陥同定、スキャン、解析を高速に行うことのできる自動欠陥検査AFM装置です。
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ハードディスクメデイア、他の平坦な基板を対象としている皆様にとって、ナノスケールの欠陥検査は従来の検査装置では長時間を要し、低スループットの作業という課題があります。.
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クロストーク除去（XE）で生まれたアーティファクトのない計測
・ 分離独立したXYスキャナーによるフラットな走査
・ フラットで線形性のあるXY走査が歪んだバックグラウンドから生じるアーティファクトから解放
・ 品質管理における精度の高い計測を実現
・ 優れた装置間マッチング
真の非接触モードの実現とプローブの長寿命化によるコスト削減
・ 通常の測定と欠陥検査を想定しても10倍以上のプローブ寿命
・ チップ先端の摩耗が少なく長時間の高品質、高分解能イメージ取得を維持
・ 最小限のサンプルダメージと変形
・ パラメータに依存するタッピング測定から解放
メディアと基板の自動欠陥検出
・ 光学欠陥検査装置で検出された欠陥の自動サーベイ
・ 指定位置での自動ズーム測定
・ 検出された欠陥タイプの自動プロファイリング
・ 検出された欠陥の自動分析
ナノテクノロジー分野を支えるパートナー
・ 変化の早い要求に応えるための皆様との協力
・ 最大限のスループットが得られるアプリケーション提案
・ モジュラー化したソフトウェア、ハードウェアでの皆様のニーズへの迅速な対応 |
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