ハードディスク向け 自動欠陥検査AFM


     

パークシステムズの提案するXE-HDMは、ハードディスク基板・メディア上の欠陥同定、スキャン、解析を高速に行うことのできる自動欠陥検査AFM装置です。










クロストーク除去(XE)で生まれたアーティファクトのない計測
・ 分離独立したXYスキャナーによるフラットな走査
・ フラットで線形性のあるXY走査が歪んだバックグラウンドから生じるアーティファクトから解放
・ 品質管理における精度の高い計測を実現
・ 優れた装置間マッチング

真の非接触モードの実現とプローブの長寿命化によるコスト削減
・ 通常の測定と欠陥検査を想定しても10倍以上のプローブ寿命
・ チップ先端の摩耗が少なく長時間の高品質、高分解能イメージ取得を維持
・ 最小限のサンプルダメージと変形
・ パラメータに依存するタッピング測定から解放

メディアと基板の自動欠陥検出
・ 光学欠陥検査装置で検出された欠陥の自動サーベイ
・ 指定位置での自動ズーム測定
・ 検出された欠陥タイプの自動プロファイリング
・ 検出された欠陥の自動分析

ナノテクノロジー分野を支えるパートナー
・ 変化の早い要求に応えるための皆様との協力
・ 最大限のスループットが得られるアプリケーション提案
・ モジュラー化したソフトウェア、ハードウェアでの皆様のニーズへの迅速な対応






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