正確なナノスケール計測

ハードディスクドライブ・半導体産業における技術革新は、研究開発および生産工程において微細なナノまたそれ以下のスケールの計測を必要としています。しかし、従来の計測法ではこの進展に追従できないばかりか正確なナノスケールのイメージングや計測ができませんでした。最先端での微細化に対して、原子間力顕微鏡（AFM）を産業的に用いる時代が到来しました。

パークシステムズは、産業界でのナノスケール計測の新たな時代をリードします。ハードディスクドライブおよび半導体産業で、私たち独自の革新的なAFMは、ナノスケールでのデバイスの開発・製品の品質管理を可能とします。

XEインライン自動化技術

• 自動傾斜補正機構
• ＸＹステージコーディネートナビゲーション
• リファレンスマーカー自動検出
• 自動ステージマッピング
• 測定位置自動検出機能
• パターン自動検出機能
• 自動測定制御
• 自動データ解析
• 自動データエクスポート
• 自動チップ交換機構• クラス1のクリーンルーム
• 最大300mmのウェーハサイズ
• SECⅡ、GEM及びSMIFと互換性

パークシステムズは特徴的な表面形状からステップの高さ、粗さ、オーバーハング、トレンチプロファイル、側壁粗さ、臨界角測定などをプロセス制御と分析評価のために完全自動化されたAFMシステムを設計・製作しています。 XEシリーズAFMは、ウルトラシャープチップを使用し、先端のダメージを低減する完全非接触イメージングモードで表面および三次元構造を高解像度で測定します。

XEA

パーク・システムズのＸＥＡはインライン用自動制御用ソフトウエアーで、指定のレシピ通りＡＦＭ測定、データ取得、解析を行いを行い、またデータを転送することが出来ます。ＸＥＡは全自動、半自動、マニュアル測定をサポートし、幅広くお使い頂けます。各測定のステップでのプロシジャーを編集したり、新たなレシピをロードしたり、自動測定を開始させたり、測定中の状況を表示したり、測定結果を出力することができます。

信頼性の高いパークシステムズ製品

装置間の相関

産業界を見据えた計測のための設計により、XE-AFMは製造、検査、分析、研究開発で用いられてきたこれまでの当社のAFMシステムと非常によい相関をもっています。

システム・アップタイム

パークシステムズの開発陣は製品の開発にあたって最高レベルの信頼性を確保するために厳格な規格にしたがっています。XE-3DMは最低限のメンテナンスでインラインまたはオフラインの検査装置として業務に継ぎ目をつくることなく導入できます。

サービス、メンテナンス

パークシステムズは最高レベルのサービスとサポートをお約束します。皆様の求めている内容を理解するよう努めています。また、装置納入日程の厳守、品質保証、誠実なアフターサービスに最大限の注意を払っています。