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ÞÂ様
- Z«¹«­«ã«ÊーÖÅæ´: 15 µm
- Z«¹«­«ã«ÊーªÎÍìòÉñ²÷î数: > 9.5 kHz
- «ìー«¶ーðú×¾£º «¹ー«Ñー«ë«ß«Í«»«ó«¹«À«¤«ªー«É(830 nm)
- «Î«¤«º«Õ«í«¢£º< 0.05 nm (ìéÚõîÜªË 0.02 nm)

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ÞÂ様
Z«¹«­«ã«ÊーÖÅæ´: 30 µm
Z«¹«­«ã«ÊーªÎÍìòÉñ²÷î数: > 2.0 kHz
«ìー«¶ーðú×¾£º «¹ー«Ñー«ë«ß«Í«»«ó«¹«À«¤«ªー«É(830 nm)
«Î«¤«º«Õ«í«¢£º< 0.05 nm (ìéÚõîÜªË 0.02 nm)
Conductive AFM, SCM, and SThMªò𶪤ª¿îïªÆªÎ«âー«ÉªËû»üµ

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・ ZñËÞÛøë:12μm
・ ÍìòÉòÉÔÑ数£º3 kHz
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・ «Î«¤«º«Õ«í«¢£º0.03 nm (÷×ßÈ)¡¢0.05 nm (õÌÓÞ)

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・ ZñËÞÛø룺25 μm
・ ÍìòÉòÉÔÑ数£º1.7 kHz
・ «ìー«¶ー«¿«¤«×£ºLD (630 nm)ªÞª¿ªÏSLD (830 nm)
・ «Î«¤«º«Õ«í«¢£º0.03 nm (÷×ßÈ),0.05 nm (õÌÓÞ)

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・ Î뢫¯«»«¹£ºß¾Ý»ªÈö°Øü
・ ZñËÞÛø룺12μmªÞª¿ªÏ25μm
・ ÍìòÉòÉÔÑ数£º3 kHz (12μm XE«Ø«Ã«É),1.7 kHz (25 μm XE«Ø«Ã«É)
・ «ìー«¶ー«¿«¤«×£ºLD (630 nm)ªÞª¿ªÏSLD (830 nm)
・ «Î«¤«º«Õ«í«¢£º0.03 nm (÷×ßÈ),0.05 nm (õÌÓÞ)

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・ ZñËÞÛø룺12μmªÞª¿ªÏ25μm
・ ÍìòÉòÉÔÑ数£º3 kHz (12μm XE«Ø«Ã«É),1.7 kHz (25μm XE«Ø«Ã«É)
・ á÷òÁ«É«ê«Õ«Èá㣺< 1 nm/min

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・ñËÞÛÛô囲: 5 μm
・ÍìòÉñ²÷î数: > 850 Hz
・Øüèâ湾ÍØ: < 1 nm£¨«Õ«ë«ì«ó«¸£©
・ú°ßÀÓø: 0.01 nm («ªー«×«ó«ëー«×)

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・ñËÞÛÛô囲: 50 μm(î¸ï³圧«âー«ÉªÇªÏ5μm)
・ÍìòÉñ²÷î数: > 850 Hz
・Øüèâ湾ÍØ: < 1 nm£¨«Õ«ë«ì«ó«¸£©
・ú°ßÀÓø: 0.6nm(«¯«íー«º«É«ëー«×),0.02nm(«ªー«×«ó«ëー«×)

100μmX・Yõ«­«ã«ÊーªÏö´ïÒʦÒöÛô囲ªòÓÞª­ª¯ª·¡¢ª·ª«ªâïñÚ˪Ëö´ïҪǪ­ªëªèª¦ªËª¹ªëª¿ªáªËËÒ発ªµªìªÞª·ª¿¡£ª³ªÎªèª¦ªÊ条ËìªÏÚâÓô体ªäáÈÎ研ϼªËý⪫ª»ªÊª¤ªâªÎªÇª¹¡£Ü⫹«­«ã«ÊーªÎÍÔïñÓø¡¢òÁàÊàõ¡¢òÁÎßñËÞÛàõÒöªÏ¡¢Íïåöͪö´ªÎÍÔÓøªÊÐññÞªòªâ満ª¿ª·ªÆª¤ªÞª¹¡£

・ñËÞÛÛô囲: 100μm(î¸ï³圧«âー«ÉªÇ10μm)
・ÍìòÉñ²÷î数: > 450 Hz
・Øüèâ湾ÍØ: < 2 nm£¨«Õ«ë«ì«ó«¸£©
・ú°ßÀÓø: 1.5nm(«¯«íー«º«É«ëー«×),0.04nm(«ªー«×«ó«ëー«×)

XE-150éÄ100 μm x 100 μm XY«¹«­«ã«ÊーªÏ¡¢áÈäÚâÓô体ªÎ研ϼéĪË広ª¤ñËÞÛÛô囲ª¬××éĪǪ­ªÞª¹¡£ñËÞÛÛô囲ªÏÓÞª­ª¤ªËªâª«ª«ªïªéªº¡¢«¹«­«ã«ÊーªÏØüèâê¡ÔѪ¬ÞªßȪËᳪµª¯¡¢ÍÔïñÓøªÇ¡¢ÍÔòÁàÊàõ¡¢ÍÔòÁÎßàõªòêóª·ªÞª¹¡£

・ñËÞÛÛô囲: 100μm
・ÍìòÉñ²÷î数: > 450 Hz
・Øüèâ湾ÍØ: < 2 nm£¨«Õ«ë«ì«ó«¸£©
・ú°ßÀÓø: 1.5nm(«¯«íー«º«É«ëー«×),0.04nm(«ªー«×«ó«ëー«×)

XE«Ð«¤«ªéÄ100μmX・Yõ«­«ã«ÊーªÏ¡¢ßæ体ãËÖùªË対応ª¹ªëª¿ªá¡¢広ª¤観ö´Ê¦ÒöÛô囲ªòð«ÍꪷªÆª¤ªÞª¹¡£XEÐüâúªÎ«Õ«ì«¯«·«ãー«¹«­«ã«Êーªò«Ùー«¹ªË¡¢÷âÙ¥ãËÖùªË対応ª¹ªëª¿ªáªËÓîØ¡ÎÃ学顕Ú°ÌðªÈªÎðÚªßùêªïª»ª¬Ê¦ÒöªÊÏ°ðãªÇª¹¡£

・ñËÞÛÛô囲: 100μm
・ÍìòÉñ²÷î数: > 450 Hz
・Øüèâ湾ÍØ: < 2 nm£¨«Õ«ë«ì«ó«¸£©
・ú°ßÀÓø: 1.5nm(«¯«íー«º«É«ëー«×),0.04nm(«ªー«×«ó«ëー«×)