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  • Park
    XE7
    AFM 仕様

Park XE7 仕様

XY スキャナ

フレクチャー式クローズドループ、シングルモジュール
スキャン レンジ : 100μm x 100μm
                                   50μm x 50μm
                                   10μm x 10μm

 

マニュアル ステージ

XY 移動距離 : 13 × 13 mm
Z 移動距離 : 29.5 mm
フォーカス移動距離 : 70 mm

Z スキャナ レンジ

フレクチャー式クローズドループ
スキャンレンジ : 12 μm
                                  15 μm

 

試料マウント

試料サイズ : 最大 100 mm
厚さ : 最大 20 mm

 

光学系

試料・カンチレバー同一軸観察
10× 対物レンズ (20× オプション)
視野 : 480 × 360 μm (10× 対物レンズの場合)
CCD : 1 Mピクセル

 

ソフトウエア

XEP

高性能システム制御とデータ収集ソフトウエア
リアルタイム フィードバック パラメータ調整
外部プログラムからスクリプト レベル制御(オプション)

XEI

AFM データ解析ソフトウエア

 

エレクトロニクス

高性能DSP : 600 MHz / 4800 MIPS
最大16 イメージ データ
最大データサイズ : 4096 × 4096 ピクセル
信号入力 : 20 チャンネル、16 ビットADC 、 500 kHz サンプリング
信号出力 : 21 チャンネル、16 ビットDAC、 500 kHz セッティング
同期信号 : EOI(イメージ)、EOI(ライン)、EOP(ピクセル)、 TTL信号
アクティブ Q コントロール (オプションン)
カンチレバーバネ定数キャリブレーション(オプション)
CE コンプライアンス
消費電力 : 120 W
シグナルアクセスモジュール (オプション)

 

AFMモード

標準イメージング

真のノンコンタクトAFM
コンタクト AFM
摩擦力顕微鏡 (LFM)
位相イメージング
断続的接触(タッピング) AFM

力計測

フォースーディスタンス (FD)カーブ
フォースボリュームイメージング

誘電特性/圧電特性

電気力顕微鏡 (EFM)
ダイナミックコンタクト EFM (EFM-DC)
圧電力顕微鏡 (PFM)
高電圧PFM

機械特性

フォースモジュレーション(FMM)
ナノ インデンテーション
ナノ リソグラフィ
高電圧ナノリソグラフィ
ナノマニュピレーション
圧電力顕微鏡 (PFM)

磁気特性

磁気力顕微鏡(MFM)
可変 MFM

光学特性

チップ増強ラマン分光法 (TERS)
フォトカレント マッピング (PCM)

電気特性

コンダクティブ AFM
IV スペクトロスコピー
走査型ケルビンプローブ顕微鏡 (SKPM/KPM) 高電圧SKPM
走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM)
走査型拡がり抵抗法顕微鏡 (SSRM)
走査型トンネリング顕微鏡 (STM)
走査型トンネリングスペクトロスコピー (STS)時間分割
フォトカレントマッピング (PCM)

化学特性

官能化チップ ケミカルフォース顕微鏡
電気化学顕微鏡 (EC-STM 及び EC-AFM)

 

寸法(mm)

xe7 dimension
 

Park XE7 AFM オプション

25 μm Zスキャナ ヘッド

Z スキャンレンジ : 25 μm
共振周波数 : 1.7 kHz
レーザータイプ : LD (650 nm) 又は SLD (830 nm)
ノイズ フロア : 0.03 nm (公称), 0.05 nm (最大)

XE オプティカル ヘッド

オプティカルアクセス : トップとサイド
Z スキャンレンジ : 12 μm 又は 25 μm
レーザータイプ : LD (650 nm) 又は SLD (830 nm)
ノイズフロア : 0.03 nm (公称)、 0.05 nm (最大)
共振周波数 : 3 kHz (12 μm XEヘッド、1.7 kHz (25 μm XE ヘッド)

機械発生器

試料表面に並行で外部磁界を印加できます。
レンジ : -300から +300 ガウス, -1500 から +1500 ガウス
純鉄コアと2ソレノイドコイル

クリップ式プローブハンド

プレマウントされていない市販カンチレバーが使用能
チップにバイアス印加可能能(コンダクティブAFM、EFM)
チップバイアス レンジ : -10 V ~ 10 V
標準と拡張モードにおいて、STM,SCM及び液中測定モードを除いた全てのモードに対応します。

液中セル

• ユニバーサル液中セル
        開放型或いは密閉型、溶液/ガス雰囲気
        温度制御レンジ : 4 °C から +110 °C (大気中)、 4 °Cから +70 °C (液中)
• 解放型/密閉型セル
• 電気化学セル

液中プローブハンド

一般液中環境のイメージング
酸を含むほとんどのバッファ溶液に耐性あり
液中コンタクト、ノンコンタクト イメージング

温度制御ステージ

タイプ 1 : 0 °C から +180 °C
タイプ 2 : 大気中から +250 °C
タイプ 3 : 大気中から +600 °C

シグナル アクセス モジュール(SAM)

様々な入力/出力信号にアクセスを可能にします。
XY及びZスキャナのドライブ信号
XY及びZスキャナの位置信号
水平、垂直方向のカンチレバー デフレクション信号
試料とカンチレバーへのバイバイアス信号
XE7システムへの様々な外部入力信号

アクセサリ

電気化学セル
ユニバーサル液中セル(温度制御)
試料ステージ(温度制御)
磁界発生器

 

XE7-仕様