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  • Park
    NX10
    AFM 仕様

Park NX10 仕様

XY スキャナ

XYスキャナ、フレクチャー式クローズドループ、シングルモジュール
スキャン:50 μm × 50 μm (オプションにて10 μm × 10 μm 又は 100 μm × 100 μm)
分解能 : 0.05 nm
センサーノイズ : < 0.25 nm (バンド幅: 1 kHz)
平坦度 : < 1 nm (全域)

 

電動ステージ

試料サイズ :最大 50 mm x 50 mm、20 mm (厚さ)
試料重量 : 最大500 g
XY ステージ移動距離 : 20 mm x 20 mm
Z ステージ移動距離 : 25 mm
フォーカスステージ移動距離 : 15 mm

 

Z スキャナレンジ

フレクチャー式クローズドループ
スキャンレンジ: 15 μm (オプションで 30 μm)
分解能 : 0.015 nm
センサーノイズ : 0.03 nm (バンド幅: 1 kHz)
共振周波数 : > 9 kHz (公称 10.5 kHz)

 

光学系


10x (0.21NA) 超ロング ワーキング ディスタンス レンズ (1μm 分解能)
20x (0.42 NA) 高分解能、ロングディスタンスWDレンズ (0.6 μm 分解能)
試料、カンチレバー同一軸観察
視野 : 480 × 360 μm (10× 対物レンズの場合)
CCD : 1 Mピクセル(ピクセル分解能: 0.4 μm)

 

ソフトウエア

SmartScan™

高性能システム制御とデータ収集ソフトウエア
リアルタイム フィードバック パラメータ調整
外部プログラムからスクリプト レベル制御(オプション)

XEI

AFM データ解析ソフトウエア

 

エレクトロニクス

信号処理

ADC : 18 チャネル
4 高速ADC チャネル (64 MSPS)
24ビット ADC( X, Y, 及び Z スキャナポシションセンサー)
DAC : 12 チャネル
2 高速DAC チャネル (64 MSPS)
20ビット DAC( X, Y,及び and Z スキャナーポジションセンサー)
最大データサイズ : 4096 x 4096 ピクセル

内臓機能

デジタルロックインアンプ 3チャネル
バネ乗数キャリブレーション (サーマルチューニング)
デジタルQコントロール

外部信号アクセス

20 シグナル入力/出力用ポート
5 TTL 出力 : EOF, EOL, EOP, モジュレーションと AC バイアス

 

AFM モード

標準イメージング

真のノンコンタクトAFM
PinPoint™ AFM
コンタクト AFM
摩擦力顕微鏡 (LFM)
位相イメージング
断続的接触(タッピング) AFM

力計測

フォースーディスタンス (FD)カーブ
フォースボリュームイメージング

誘電特性/圧電特性

電気力顕微鏡 (EFM)
ダイナミックコンタクト EFM (EFM-DC)
圧電力顕微鏡 (PFM)
高電圧PFM

機械特性

フォースモジュレーション(FMM)
ナノ インデンテーション
ナノ リソグラフィ
高電圧ナノリソグラフィ
ナノマニュピレーション
圧電力顕微鏡 (PFM)

磁気特性

磁気力顕微鏡(MFM)
可変 MFM

光学特性

チップ増強型ラマン分光法 (TERS)
時間分割フォトカレント マッピング (PCM)

電気特性

コンダクティブ AFM
IV スペクトロスコピー
走査型ケルビンプローブ顕微鏡 (SKPM/KPM)
高電圧SKPM
走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM)
走査型拡がり抵抗法顕微鏡 (SSRM)
走査型トンネリング顕微鏡 (STM)
走査型トンネリングスペクトロスコピー (STS)
時間分割フォトカレントマッピング (PCM)

化学特性

官能化チップ ケミカルフォース顕微鏡
電気化学顕微鏡 (EC-STM 及び EC-AFM)

 

AFM オプション

温度制御

加熱 & 冷却ステージ (-25 °C~180 °C)
250 oC 加熱ステージ
600 oC 加熱ステージ

液中セル

ユニバーサル液中セル
電気化学セル
オープン液中セル

液中プローブハンド

一般液中環境のイメージング
酸を含むほとんどのバッファ溶液に耐性あり
液中コンタクト、ノンコンタクト イメージング

クリップ式チップキャリア

プレマウントされていない市販カンチレバーが使用可能
チップにバイアス印加可能(コンダクティブAFM、EFM)
チップバイアス レンジ : -10 V ~ 10 V

磁界発生器

試料面に並行した外部磁場を印加
可変磁界
レンジ : -300 ~ 300 ガウス
純鉄コアと2ソレノイドコイル

 

寸法( mm)

nx10 sys demensionnx10 ae demension

NX10-Specifications