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Z スキャナ ヘッド

Park Systems社はPark AFMを世界で最高性能にする目的でZスキャナを開発しました。全ての当社ヘッドの特徴は:

より優れたカンチレバーデフレクション検出の為のLDとSLD

Park AFMのヘッドはレーザー ダイオード(LD) とスーパー ルミネッセンス ダイオード (SLD)を使用し、最も正確なカンチレバーデフレクションが得られます。

独立したZスキャンレンジの選択

XYスキャナとZスキャナが独立分離している為に、Zスキャン レンジを完全に制御することが可能です。

 

標準NX AFM ヘッド

標準NX AFM ヘッドは15μmスキャンレンジですが高速スキャンができます。これは、NXシリーズAFMのデフォルトヘッドです。

Standard-NX-AFM-Head

仕様 :

Z スキャンレンジ: 15 µm
Zスキャナの共振周波数: > 9.5 kHz
レーザータイプ: スーパー ルミネッセンス ダイオード (830 nm)
ノイズフロア: < 0.05 nm (公称 0.02 nm)

長距離用NX AFM ヘッド

長距離用NX AFM ヘッドはNXシリーズAFMにZスキャンレンジの拡張を可能にします。

仕様 :

Z スキャンレンジ: 30 μm
Zスキャナの共振周波数: > 2.0 kHz
レーザータイプ: スーパー ルミネッセンス ダイオード (830 nm)
ノイズフロア: < 0.05 nm (公称 0.02 nm)
*コンダクティブAFM、 SCM、及びSThM モードには対応していません。

標準XE ヘッド

標準XE ヘッドはほとんどのユーザの方に理想的でXEAFMのすべての標準モード及び先端モードに対応しています。

Standard-XE-Head

仕様 :

Z スキャン レンジ: 12 μm
Zスキャナの共振周波数: > 3 kHz
レーザータイプ: LD (650 nm) 又は SLD (830 nm)、標準
ノイズフロア: < 0.02 nm (公称)、 0.05 nm (最大)

25um XE ヘッド

XE シリーズAFMに25um拡張レンジスキャナが装着された場合は、光学レンズやMEMSデバイスのようなハイアスペクト試料に完全に対応します。ヘッドはすべての基本モード、先端モード及びオプションに対応しています。

仕様 :

Zスキャンレンジ: 25 μm
共振周波数: > 1.7 kHz
レーザーダイオード: LD (650 nm) 或いは SLD (830 nm)
ノイズフロア: 0.03 nm (公称)、 0.05 nm (最大)

XE オプティカル ヘッド

XE オプティカル ヘッドによりユーザはAFMカンチレバーをラマン スペクトロスコピーと組み合わせ試料からの光学応答を増幅させることで光増幅の目的で使用できます。XEオプティカル ヘッドは最適なビームをトップ、ボトム及びサイドから幅広く提供できます。このオプションはXEシリーズの全てのAFMの互換性があります。

XE-10nm-Optical-Head

仕様 :

光学系の取り付: トップと側面
Z スキャンレンジ
: 12 μm 又は 25 μm
共振周波数: 3 kHz (12 μm XE ヘッド)、 1.7 kHz (25 μm XE ヘッド)
レーザータイプ: LD (650 nm) 又は SLD (830 nm)
ノイズフロア: 0.03 nm (公称), 0.05 nm (最大)

ハイジトロン トライボスコープ用アダプター ヘッド

このアダプタによりハイジトロン社のトライボスコープ ナノインデンターと組み合わせることができます。Zスキャナの高いフィードバック性能におり高精度なナノインデンテーション計測が可能です。

Hysitron-Triboscope-Adaptor-Head

仕様 :

このアダプタはハイジトロン社のトライボスコープ ナノインデンター用です。
Z スキャンレンジ
: 12 μm 又は 25 μm
共振周波数: 3 kHz (12 μm XE ヘッド)、 1.7 kHz (25 μm XEヘッド)
垂直ドリフトレート: < 1 nm/分

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