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XYスキャナ

Park XY スキャナは非常に正確で操作性が高い広範囲のスキャナ群を供給しています。

より正確なスキャンの為に、より高いリニアリティ

クリープ、ヒステリシス、温度条件或いは寿命等、様々な要因によってスキャナの正確性が影響を受けます。その為に当社のXYスキャナはクローズドループ回路によって制御され、スキャナの実際の位置を検出しスキャナの持つノンリニアリティの動作を修正して積分の直線性エラーを0.5%以下に抑えることができます。

XYとZスキャナの完全分離機構により歪のない動作でバックグラウンドの湾曲が発生しません

Park AFMは、XYとZスキャナの分離された構造により100μm以下の動作に対して2nm未満の平坦度の性能を実現しています。

より優れた応答性でより詳細を確認

当社のXYスキャナはすべて独立してドライブされる為に、チューブ型ピエゾスキャナより優れた応答性をもち、大変詳細な形状を計測できます。

XE7用10 μm x 10 μm XYスキャナ

最も高分解能なAFM/STM イメージングにはPark 10 μm XYスキャナを選択ください。このXYスキャナはXE7のみに互換性を持っています。.

xe7-10nm-XY-Scanner

仕様 :

スキャンサイズ: 10 μm
共振周波数: > 850 kHz
分解能: 0.01 nm (オープンループ)

NX10用10 μm x 10 μm XYスキャナ

最も高分解能なAFM/STMイメージングには、Park 10 μm XYスキャナを選択下さい。このXYスキャナはNX10のみに互換性を持ちます。

nx10-XY-Scanner

仕様 :

スキャンレンジ: 10 μm
共振周波数: > 850 kHz
分解能: 0.01 nm (open-loop)

50 μm x 50 μm XYスキャナ

XE7用標準スキャナ(50 μm)は高分解能スキャンが可能でバックグラウンドの湾曲エラーがなく安定したイメージングが可能な為に、正確なデータを得ることができます。

50nm-XY-Scanner

仕様 :

スキャンレンジ: 50 μm, (低電圧モードで5μm )
共振周波数: > 850 kHz
平坦度: < 1 nm
分解能: 0.6 nm (クローズドループ)、 0.02 nm (オープンループ)

100 μm x 100 μm XYスキャナ

100 μm XYスキャナはより大きなスキャンが可能ですが、大変詳細な計測が可能です。この機能により半導体や材料研究を完全なものにしてくれます。高分解能、リニアリティ及ぶ直交性の高いスキャン性能により企業におけるメトロロジーの最も高い基準を満足させます。

100nm-XY-Scanner

仕様 :

スキャンレンジ: 100 μm, (定電圧モードで10 μm )
共振周波数: > 450 kHz
平坦度: < 2 nm
分解能: 1.5 nm (クローズドループ)、 0.04 nm (オープンループ)

XE15用100 μm x 100 μm XYスキャナ

100 μm XYスキャナにより、材料や半導体研究における広域スキャンを可能にしますが、その場合でも平坦度、分解能、直線性、及び直交性がしっかり維持されます。

仕様 :

スキャンレンジ: 100 μm
共振周波数: > 450 kHz
平坦度: < 2 nm
分解能: 1.5 nm (クローズドループ)、 0.04 nm (オープンループ)

NX-Bio用100 μm x 100 μm XYスキャナ

この100 um XYスキャナによりNX-BIOは生体試料を広範囲で観察できます。その革新的設計によりユーザーの皆様は透過型光学顕微鏡の光学系に簡単にアクセス可能です。

仕様 :

スキャンレンジ: 100 μm
共振周波数: > 450 kHz
平坦度: < 2 nm
分解能: 1.5 nm (クローズドループ)、 0.04 nm (オープンループ)

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