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アクティブ防振台

Mini 450

AFM、SPM,レーザー顕微鏡, マイクロ硬度計、干渉計等様々な精密機器装置

に最適な防振台です。

6DOF アクティブ防振制御

6DOF アクティブ制御により共振周波数の無い際立った性能を全周波数帯域で示します。

クリーンルーム互換性

表面やボディはアルミニウム製でエアのコンタミを排除します。エアの供給も不要です。

LCD 表示 (標準装備)

加速度記録
加速応答スペクトラム

自動レべリング & クランピング

単にボタンを押す操作だけで自動レべリングとクランピングが可能です。

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mini450

 

mini-450-diagram

6DOF アクティブ振動制御により際立った振動防振性能を示します。

 

mini-450-noise-reduction

金ナノパーティクル/SiO2 / Si (111)の計測例(アクティブ防振ON/OFF)
スキャンサイズ: 500 nm x 500 nm

 

仕様 :

寸法 (W × D × H): 400 mm × 500 mm × 80 mm
最大耐荷重: 120 kg
重量: 19 kg
電源: AC 85 - 264 V 単相50/60 Hz
技術: 全周波数、直線及び回転方向 (6軸).
力方向: 6軸アクティブ補正式
除振性能: 5 Hz = 25dB, 10Hz = 40dB
アクティブバンド幅: 0.8Hz 以下 ~ 100Hz 以上
最大補正レベル: 0.35gal(rms) 、60kg負荷&5Hz にて
アクチュエータ ストローク: 2mm
最大補正カーブ V = 垂直: 16N
最大補正カーブ H = 水平: 8N
負荷調整再現性: 0.1mm

Park AFMオプション