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  • Park
    XE15
    AFM 仕様

Park XE15 仕様

XY スキャナ

フレクチャー式クローズドループ、シングルモジュール
スキャンレンジ : 100 µm × 100 µm

 

ステージ

XY 移動距離 : 150 mm × 150 mm、電動
Z 移動距離 : 25 mm
フォーカス移動距離 : 20 mm、自動
高分解能エンコーダ―(オプション)にて、XYの位置精度向上

 

Z スキャナ

フレクチャー式クローズドループ
スキャンレンジ : 12 μm
                       25 µm (オプション)

試料マウント

試料サイズ : 最大 150 mm
厚さ : 最大 20 mm

 

光学系

試料・カンチレバー同一軸観察
10× 対物レンズ (20× オプション)
視野 : 480 × 360 μm (10× 対物レンズの場合)
CCD : 1 Mピクセル

 

ソフトウエア

XEP

高性能システム制御とデータ収集ソフトウエア
リアルタイム フィードバック パラメータ調整
外部プログラムからスクリプト レベル制御(オプション)

XEI

AFM データ解析ソフトウエア (Windows, MacOS X及びLinux対応)

 

エレクトロニクス

高性能DSP : 600 MHz / 4800 MIPS
最大16個の画像データ
最大画像サイズ: 4096 x 4096ピクセル
信号入力 : 16ビットADC 20チャネル、500 kHzサンプリング
信号出力 : 16ビットDAC 21チャネル、500 kHzセトリング
同期信号 : 画像終了時、行終了時、ピクセル終了時の各TTL信号 アクティブQ制御 (オプション)
カンチレバーのバネ定数キャリブレーション (オプション)
CE準拠
電力 : 120 W
シグナル アクセス モジュール (オプション)

 

AFM モード

標準イメージング

真のノンコンタクトAFM
コンタクト AFM
摩擦力顕微鏡 (LFM)
位相イメージング
断続的接触(タッピング) AFM

力計測

フォースーディスタンス (FD)カーブ
フォースボリュームイメージング

誘電特性/圧電特性

電気力顕微鏡 (EFM)
ダイナミックコンタクト EFM (EFM-DC)
圧電力顕微鏡 (PFM)
高電圧PFM

機械特性

フォースモジュレーション(FMM)
ナノ インデンテーション
ナノ リソグラフィ
高電圧ナノリソグラフィ
ナノマニュピレーション
圧電力顕微鏡 (PFM)

磁気力特性

磁気力顕微鏡 (MFM)

光学特性

チップ増強ラマン分光法 (TERS)
フォトカレント マッピング (PCM)

電気特性

コンダクティブ AFM
IV スペクトロスコピー
走査型ケルビンプローブ顕微鏡 (SKPM/KPM) 高電圧SKPM
走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM)
走査型拡がり抵抗法顕微鏡 (SSRM)
走査型トンネリング顕微鏡 (STM)
フォトカレントマッピング (PCM)

熱特性評価

走査型サーマル顕微鏡(SThM)

化学特性

官能化チップ ケミカルフォース顕微鏡
電気化学顕微鏡 (EC-STM 及び EC-AFM)

 

AFM オプション

アクティブ温度制御アクースティック エンクロージャー

革新的な制御により素早く温度平衡に持っていき、扉を閉めてから10分以内に0.05°Cの安定が得られます。アクティブ防振台を含みます。

電動ステージ用エンコーダ

XY ステージエンコーダ:1 μm分解能、 2 μm 再現性
Z ステージエンコーダ: 0.1 μm 分解能、 1 μm 再現性

試料台

ウエハ試料用真空チャック
試料サイズ: 最大 150 mm

25 μm Zスキャナ ヘッド

Z スキャンレンジ : 25 μm
共振周波数 : 1.7 kHz
レーザータイプ : LD (650 nm) 又は SLD (830 nm)
ノイズ フロア : 0.03 nm (公称), 0.05 nm (最大)

XE オプティカルヘッド

オプティカルアクセス : トップとサイド
Z スキャンレンジ : 12 μm 又は 25 μm
レーザータイプ : LD (650 nm) 又は SLD (830 nm)
ノイズフロア : 0.03 nm (公称)、 0.05 nm (最大)
共振周波数 : 3 kHz (12 μm XEヘッド、1.7 kHz (25 μm XE ヘッド)

クリップ式プローブハンド

プレマウントされていない市販カンチレバーが使用能
チップにバイアス印加可能能(コンダクティブAFM、EFM)
チップバイアス レンジ : -10 V ~ 10 V
標準と拡張モードにおいて、STM,SCM及び液中測定モードを除いた全てのモードに対応します。

シグナルアクセスモジュール (SAM)

様々な入力/出力信号にアクセスを可能にします。
XY及びZスキャナのドライブ信号
XY及びZスキャナの位置信号
水平、垂直方向のカンチレバー デフレクション信号
試料とカンチレバーへのバイバイアス信号
XE7システムへの様々な外部入力信号

アクセサリ

電気化学セル
ユニバーサル液中セル(温度制御)
試料ステージ(温度制御)
磁界発生器

 

寸法 (mm)xe15 demensions

XE15-Specifications