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  • Park
    XE15
    パワーと多機能性の
    素晴らしい結合

強力で多機能な原子間力顕微鏡で生産性を大幅向上

パークXE15は、多くの独特な機能があり、多種多様なサンプルを取り扱う共有研究室、複数変異実験をしている研究者、ウエハーに取り組んでいる故障解析エンジニアにとって、理想的であります。その合理的な価格と強い特徴は、業界で最高価値の大きなサンプルAFMの1つです。

 

ユニークなマルチサンプルTM スキャンで検査作業の生産性を強化

1回の操作で複数の試料観察と計測が可能なので、最高の作業効率が得られます。単に試料をステージにセットして走査プロセスを開始します。この装置は同一の環境条件下で試料をスキャンすることが可能な為に、データの正確性と信頼性を向上させることができます。

大型試料サイズに対応し、可能性を拡大

ほとんどの市販AFMとは異なり、ParkXE15は最大150mm x150mmまでのサンプルに対応します。より大きなサンプルをスキャンしたい研究者や、シリコンウエハをセットする必要のある故障解析エンジニアにとってこの仕様は最適です。

どのようなニーズにも対応した仕様

パークXE15は,ほとんどの走査モードを装備し、また大きなサンプルサイズにも対応しています。これにより、様々な測定ニーズが要求される共同研究室に最適です。

XE15-概要