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  • Park
    NX20
    AFM 仕様

Park NX20 仕様

XY スキャナ

XYスキャナ、フレクチャー式クローズドループ、シングルモジュール
スキャンレンジ : 100μm x 100μm
                         50μm x 50μm
                         25μm x 25μm
20-ビット位置制御、 24ビット位置センサー

 

電動ステージ

XY 移動距離 : 150 mm (200 mm optional)
Z 移動距離 : 25 mm
フォーカス移動距離 : 9 mm
全軸高分解能エンコーダ (オプション)

Z スキャナ

フレクチャー式クローズドループスキャナス
キャンレンジ : 15 µm 、30μm(オプション)
20-ビット位置制御、 24ビット位置センサー

 

試料マウント

標準150 mm (200 mm オプション)
ウエハ試料固定用真空チャック

 

光学系

対物レンズ

10x (0.21NA) 超ロング ワーキング ディスタンス レンズ (1μm 分解能)
20x (0.42 NA) 高分解能、ロングディスタンスWDレンズ (0.6 μm 分解能)
試料、カンチレバー同一軸観察
10× 対物レンズ標準 (20× オプション)
視野 : 840 × 630 μm (420 × 315 µm optional)
CCD : 5 Mピクセル

 

ソフトウエア

SmartScan™

高性能システム制御とデータ収集ソフトウエア
リアルタイム フィードバック パラメータ調整
外部プログラムからスクリプト レベル制御(オプション)

XEI

AFM データ解析プログラム

 

エレクトロニクス

信号処理

ADC : 18 チャネル
4 高速ADC チャネル (64 MSPS)
24ビット ADC( X, Y, 及び Z スキャナポシションセンサー)
DAC : 12 チャネル
2 高速DAC チャネル (64 MSPS)
20ビット DAC( X, Y,及び and Z スキャナーポジションセンサー)
最大データサイズ : 4096 x 4096 ピクセル

内臓機能

デジタルロックインアンプ 3チャネル
デジタルQコントロール

外部信号アクセス

20 シグナル入力/出力用ポート
5 TTL 出力 : EOF, EOL, EOP, モジュレーションと AC バイアス

 

AFM モード

標準イメージング

真のノンコンタクトAFM
PinPoint™ AFM
コンタクト AFM
摩擦力顕微鏡 (LFM)
位相イメージング
断続的接触(タッピング) AFM

電気特性

コンダクティブ AFM
走査型ケルビンプローブ顕微鏡 (SKPM)
走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM)
圧電力顕微鏡(PFM)

一般特性評価

磁気力顕微鏡 (MFM)
走査型サーマル顕微鏡
FD 分光法(フォース カーブ)
走査型トントンネリング顕微鏡(STM)
フォースモジュレーション(FMM)
ナノ インデンテーション
ナノ リソグラフィ
高電圧ナノリソグラフィ
ナノマニュピレーション

 

NX20 AFM オプション

AFMを任意にカスタマイズ可能

自動データ収集&解析によりユーザーの時間を大幅節約

option-automatic-data

The NX20 には、お客様が事前に設定したレシピーに基づいて試料測定を自動で行うPark社の自動制御ソフトウエア機能があります。それにより、正確なデータ収集、パターン認識機能、そして解析作業を内蔵Cognexボードや光学モジュールを使って実行し、コマンドを外部から入力することなくデータ出力を してくれますので、ユーザーは本来の研究作業にもっと時間を割くことが可能になります。

側壁イメージング用試料チルトステージが更なる視野

option-sidewall

The NX20'の革新的な技術により側壁や表面粗さ或いは角度の測定が可能です。これにより、研究に必要な更に深い情報が得られます。

温度制御機能付アクースティック エンクロージャー

革新的な制御により素早く温度平衡に持っていきます。
扉を閉めてから10分以内に0.05°Cの安定が得られます。
アクティブ防振台を含みます。

電動ステージ用エンコーダ

XY ステージエンコーダ:1 μm分解能、 2 μm 再現性
Z ステージエンコーダ: 0.1 μm 分解能、 1 μm 再現性

試料台

高性能小型試料ホルダ(電気特性計測)
ウエハ試料用真空チャック
試料サイズ: 最大 200 mm (150 mm標準)

クリップ式チップキャリア

プレマウントされていない市販カンチレバーが使用l能
チップ バイアス印加l機能(コンダクティブAFM、FFM)
チップバイアス レンジ : -10 V ~ 10 V

高分解能温度制御

加熱&冷却ステージ (-25ºC ~180 °C)
250 oC 加Aステージ
600 oC 加Aステージ

 

寸法 (mm)

demensions
 

NX20-仕様