|お問い合わせ|
  • Park
    NX20 300mm
    Atomic Force Microscope
    故障解析、品質保証及び品質管理の為
    の原子間力顕微鏡

Park NX20 300mm

300mmウエハ用最先端ナノメトロロジー自動計測・分析ツール

Park NX20 300mmは、業界において300mm x 300mmの全範囲の自動計測を可能とした最初の大型試料用AFMです。Park NX20 300mmは故障解析や品質制御の研究用に設計、試料の置き場所を変えるなどの面倒な作業を行うことなく、300mmウエハ全体を効率高く検査できます。確かなAFM性能とワンクリック自動測定機能により、NX20は試料毎のパラメータ調整を不要にすることで、操作工程を可能な限り効率を高め且つユーザーフレンドリにしました。
当社独自のSmartScan™計測インターフェイスにより、ユーザーは300 mm x 300 mm領域全面において信頼性が高く再現性の良い連続自動多点計測を簡単に実現できます。これにより、NX20 300mmは大型試料を計測する場合にFA、QA或いはQCエンジニアが最初に選択する装置になりました。

 

Brochures

 

大型ウエハ検査用に特化した製造

NX20 300mmは大型試料の最適な計測を目指して設計されました。これにより300mmウエハ全面が低ノイズAFMにて計測が可能になりました。この為に、エンジニアの方がより速く且つシンプルに優れた分解能で仕事ができる完全に新しい自動計測への可能性を見出しました。

 

順応性の高い300 mmサンプルチャック

Park NX20 300 mmの真空チャックは幅広いウエハサイズ、形状、種類に対応し、ユーザーはどんな試料でも正確に計測が可能です。

nx20-300mm-sample-chuck

 

nx20_300mm
 

300mm 試料ステージを搭載した確かな性能を持つNX20

NX20は精度を犠牲にせずに比類のない高い操作性と自動化機能を提供する為に、FA,QA及びQCエンジニアによって最適な選択肢です。300 mm自動XYステージ用いて最大限に強化されたプラットフォームを持つNX20 300mmは、ユーザーが大きな試料においても非常に高性能で検査できるように更なる進化を遂げています。

nx20-300mm-high-accuracy

 

Park SmartScan™ により正確な計測を簡単に実現

Park NX20は、SmartScanオペレーティングソフトウエアを搭載した結果、市場において操作が最も簡単なAFMの一つになりました。直観的で非常に強力なインターフェイスにより、講習を受けていないユーザーでも指示を受けなくても大型試料を素早く計測できます。

smartscan

 

nx20-smartscan

 

a300 mmウエハ全面を多点計測

SmartScan™により自動多点計測が可能で、グリッドやウエハベースモードによって各サイト間(a)および各ウエハ間(b)において、表面形状、高さ、表面粗さを比較することができます。

b強力なジョブ製作

エンジニアは、当社の簡単レシピー製作プロセスにて、各バッチの場所、名前、数、タイプを定義してプリセットが行えます。

 

広範囲なアプリケーションに対する最適化

NX20 300mmは、進化した計測と解析機能をナノスケールで実現できる自動AFM計測レシピーを搭載し、たくさんのアプリケーションを提供してくれます。粗さ、高さと深さ、欠陥レビュー、電気&磁気故障解析、熱特性検査又はナノ機械特性イメージング等を計測する機能を有したAFMは、幅広い大型試料を扱うFA,QA及びQCエンジニアにとって理想的な装置です。

 

optimized-wide-range

 

 

仕様

スキャナ

XY スキャンレンジ: 100 μm × 100 μm
Z スキャンレンジ: 15 μm, (30 μm optional)*

ステージ

XY 稼働範囲: 300 mm x 300 mm
Z 稼働範囲: 25 mm
フォーカス稼働範囲: 8 mm
全軸精密エンコーダー* (オプション)

エレクトロニクス

ADC: 18 チャンネル
高速ADC 4チャンネル(50 MSPS)
24ビット ADC ( X, Y, 及びZ位置センサー用)

DAC: 12 チャンネル
高速DAC 2チャンネル(50 MSPS)
20ビット DAC (X, Y,及びZ 位置制御用)
内蔵ロックインアンプ 3 チャンネル

光学系

試料とカンチレバーが同軸上で観察
10倍標準対物レンズ (20倍オプション)*
視野: 840 µm x 630 µm (20倍オプションの場合:420 µm x 315 µm)
CCDピクセル: 最大5M ピクセル

構造情報

寸法(高性能アクースティックエンクロージャー):
1220 mm (幅) × 1170 mm (奥行) × 1470 mm (高さ)

試料マウント&サイズ

真空グルーブホルダー:
100, 150, 200, 300 mm ウエハ対応、小型試料は磁気的固定ホルダー、厚さ20mmまで

ソフトウエア
Park SmartScan

AFMシステム制御及びデータ収集ソフトウエア
自動モード、マニュアルモード
自動レシピーによるバッチモード、自動多点測定AFM操作モード

オプション/モード*

広範囲なアプリケーションに対応した様々なオプションが用意されています。

 

Park NX20 300 mm