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生産性と精度両立

自動チップ交換 (ATX)

ATXはパターン認識機能により自動的にプローブの位置制御を行い、また革新的な磁気方式の採用によってチップの自動交換において驚異の99.9%の成功率を実現しています。レーザースポ ットは自動位置決めノブにより自動的にX軸とY軸に沿って最適化されます。

Automatic-Tip-Exchange

より安定したスキャンのためのイオナイザーシステム

イオナイザーシステムは,効果的に静電気を除去します。本システムはイオンを常時発生させ、プラスとマイナスのイオンの理想的なバランスを維持できる為に、周辺からのコンタミネーションが殆どなく、また試料のハンドリング中に発生しうる予期しない静電気のリスクも最小にし、きわめて安定した電荷環境を維持できます。

NX-HDM Ionization-System

自動ウエハ ハンドラー (EFEM 又は FOUP)

NX-WAFERは、様々な自動ウエハ ハンドラー(EFEM、FOUP、又は他)を設定することができます。高精度で非破壊のウェハ ハンドラーロボット アームにより、ユーザーが常に高速で信頼性の高いウエハ測定を実現できます。

 

Automatic-Wafer-Handler
 

Park Wafer-オプション