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  • Park PTR シリーズ
    NX-PTR
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    XE-PTR
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ハードディスク ヘッド スライダーのインライン メトロロジー計測を非常に簡単オペレーションが可能な完全自動AFMです。

パークシステムズのPTRシリーズは、れーバーレベルでの自動加ールチップレセッション測定、個別のスライダーレベルおよびHGAレベルスライダーの完全自動な産業インラインAFMソリューションです。サブナノスケールの精度、再現性、及びスループットで、PTRシリーズは、それらの全体の生産収率を向上させるためのスライダメーカーに最適な計測ツールです。

 

イン ライン、全自動、高速、高精度、高再現性による PTR 計測

ハードディスクドライブスライダーの製造業は精度の高い基準を維持しながら、速く、流線型のポールチップレセッション測定するツールが求められています。パークNX-PTRのようなツールが求められています。NX-PTRは、スループットを増やすインラインオートメーションを扱うエンジニアにとても正確なPTR寸法を提供します。その品質と生産収率を最大化するため求めていた、HDDスライダーの製造業者のための完璧なソリューションです。

レファレンススキャンを不要にし、高いスループット実現

ほとんどのAFMは、正確なPTR測定のために複数回のスキャンを必要とします。先ず最初に広域のレファレンススキャンを 行い、次に小さい関心領域における高分解能スキャンを行います。このマルチスキャンプロセスは時間を要し、スループットを 制限します。当社のクロストークが排除された走査システムは真のフラットスキャンが可能で、効果的にマルチスキャン プロセスを排除します。また真の非接触モード™は 、プローブ先端の鋭角性を長く維持する為に、長時間に渡る高解像度 イメージングの継続と同時に、一般AFMに比べてはるかに長いチップ寿命が維持されます。ParkNX-PTRは、様々な スキャナによるアーティファクトの補正するためのレファレンススキャンを必要とせず、より大きなマクロ形状内のである非常に 詳細な部分(関心領域)のイメージ情報を正確に取り出します。

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