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    PTR シリーズ
    オプション
 

精度を維持した高い生産性

自動プローブ交換機能

パーク社の自動プローブ交換システムを使用すると、合理的に自動測定ルーチンを継続することができます。自動的に、 カンチレバーの位置を較正し、レファレンスパターンを測定して測定条件の設定を最適化します。当社の革新的な 磁気的アプローチによりプローブ交換が99%の成功率を誇り、ユーザーの皆様は失敗の無い作業が可能です。

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自動レーザービームアラインメント

パーク社のレーザービームの自動アラインメント機能によって、ユーザーの操作無しで自動測定の ルーチンを合理的に継続できます。当社の先進的なプリアラインメントカンチレバーホルダーでは、 レーザービームが自動チップ交換時にカンチレバー上に自動フォーカスされます。レーザスポットは、 電動位置決めノブによって、X軸およびY軸に沿って最適化されます。

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AFMシステムをもっと効率性と効果を上げる為にカスタマイズが可能

カスタマイズサンプルフィクスチャー

パークシステムズ社は、お客様の特定サンプル、ローバー或いは個別スライダーを固定するためのカスタマイズ サンプルフィクスチャーを準備できます。これらのカスタマイズサンプルフィクスチャーにより、測定するサンプルと NX-PTRの接続を良くすることで精度の向上が可能です。

 

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カスタマイズHGAフィクスチャー

お客様から供給される特定のHGAデザインにしっかりとフィットするカスタムHGA フィクスチャーを製造可能です。損傷の与えないフィクスチャーによりお客様は簡単に HGAの取り付けと取り外しが可能になります。その為に取り外したHGAは更なる テストが可能です。最大同じタイプのHGAを5つまで同時に取り付けられます。

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安定したスキャン環境の為のイオン照射システム

イオナイザーシステムは,効果的に静電気を除去します。 本システムはイオンを常時発生させ、プラスとマイナスの イオンの理想的なバランスを維持できる為に、周辺からの コンタミネーションが殆どなく、また試料のハンドリング中に 発生しうる予期しない静電気のリスクも最小にし、きわめて 安定した電荷環境を維持できます。

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