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ハードディスクスライダーの自動インライン計測

寸法が縮小化されると同時に複雑化されるハードディスク スライダーの生産性を向上させるキーポイントは、 ナノスケールにおける精度です。ParkNX-PTRは、ハードディスクスライダーに正確な自動測定を提供します。

自動PTR計測と解析

ポールチップリセッション測定はNX-PTRシステムで完全自動化されており、キャリア、 ローバーの両方で、またスライダーレベルで、より高いスループット計測が提供されます。
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パークシステムズの産業AFMは正確かつ信頼性の高いポールチップリセッション(PTR)の測定値を全自動で提供します。

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PTR値の適切なモニタリングは、20μm先の表面に対して参照、0.1nmの測定精度を必要とします。


自動ウォールアングルの計測と解析

様々なウォールアングルアプリケーションの測定と解析を自動で実行。

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自動欠陥計測と解析

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エッジのスパイクなどの様々な欠陥の測定と解析を完全に自動化。

 

Park NX-PTR の特徴

正確なスキャンを可能にする低ノイズXYZポジションセンサー

NX-PTRは、本質的に非線形であるZ電圧信号の代わりに低ノイズZの検出器を利用することで、これまでにない 精度でトポグラフィー計測を可能にしています。業界最高の低ノイズのZ検出器の信号が、トポグラフィーの信号として 使用され、フォワードスキャンとバックワードスキャンの差を無視ができる0.15%までおさえることができました。


最小のサーマルドリフトとヒステリシスによるチップドリフトの低減

NX-PTRの本体は、非常に機械的及び熱的に一定する設計が施され、サーマルドリフトが最小化されているためにより 詳細に計測が可能になっています。公称サーマルドリフト率は、横方向への100nm未満/°Cと縦方向への200nm/°Cです。


自動計測制御によって負荷の無い正確な計測が可能

aotomatic-softwareNX-PTRは、容易な操作が可能な自動ソフトウェアを装備しています。カンチレバーのチューニング、 スキャンレート、ゲイン及びセットポイントパラメータが予め最適化されたマルチサイト分析プログラムを 任意に選択するだけで測定を開始できます。
パーク社のユーザーフレンドリなソフトウェアインターフェースは、お客様がNX-PTRをフルパワーで 使用する為に、希望するオペレーションに沿って柔軟にカスタマイズを可能としています。
新しいルーチンを作成することは簡単です。ゼロからの作成でおよそ10分、または既存のものを修正するの に必要な時間は5分以下です。


Park NX-PTRの自動計測システムの特徴

• 自動、半自動、完全マニュアルモード
• 各自動ルーチンにおける測定方法の編集
• 測定プロセスのリアルタイムモニタリング
• 取得した測定データの自動解析

 

Park PTR-アプリケーション