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Park NX-HDM 仕様

システム
仕様

電動XYステージ

駆動範囲: 最大150 mm × 150 mm、再現性 2 μm


電動 Zステージ

Z 駆動範囲 25 mm
分解能 0.1 μm 、再現性 < 1 μm

 

スキャナー
性能

XY スキャナ レンジ

100 µm × 100 µm

XY スキャナ分解能

0.095 nm (20ビット位置制御)

 

AFM とXYステージ
制御エレクトロニクス

ADC

18 チャンネル
4 高速 ADCチャンネル (64 MSPS)
24ビット ADC( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー)

DAC

12 チャンネル
2 高速 DAC チャンネル (64 MSPS)
20ビット DAC ( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサ)

 

振動、音響ノイズ、
及びESD性能

床振動ノイ

< 0.5 μm/s (10 Hz ~ 200 Hz w/ アクティブ防振台システム)

 

設備
条件

室温 (待機温度)

10 °C ~ 40 °C


室温 (稼働中)

18 °C ~ 24 °C

湿度

30% to 60% (not condensing)

 

寸法 (mm)
重量 (kg)

アクースティック エンクロージャー

880 (w) × 980 (d) × 1460 (h)
620 kg approx. (incl. basic NX-HDM System)

制御キャビネット

600 (w) × 900 (d) × 1600 (h)
170 kg approx. (incl. controllers)

 

電動フォーカス ステージ

直上光学、Z 駆動範囲15mm

試料の厚さ許容範囲

最大 20 mm

全Zスキャンレンジ

Z クリアランス< 2 nm

COGNEX パターン認識

パターン アライメント分解能: 1/4 ピクセル

Z スキャナレンジ

15 µm

Z スキャナ分解能

0.01 nm

最大スキャンサイズ

4096 x 4096 ピクセル

音響ノイズ

>20 dB 低減(アクースティックエンクロージャーにより)

床振動レベル

VC-E 基準 (3 μm/sec)

音響ノイズ

65 dB以下

排気系

真空 : -60 kPa

電源

100/120 V/ 208~240 V、単相, 15 A (最大)

総合消費電力

2 KW (公称値)

グラウド抵抗値

100 オーム以下

 

システム フロア スペース

1720 (幅) × 920 (奥行)

天上高

2000 以上

オペレータ作業スペース

2400 (幅) × 2450 (奥行), 最小 (寸法単位: mm)

demensions[ Park NX-HDM system dimension ] / [ Park NX-HDM installation layout ]
 
 

Park XE-HDM Specifications

System
Specification

Motorized XY stage

travels up to 150 mm × 150 mm, 1 µm repeatability


Motorized Z stage

~30 mm Z travel distance
~0.08 µm resolution, < 1 µm repeatability

Motorized Focus Stage

11 mm Z travel distance for on-axis optics

Sample Thickness Allowance

up to 20 mm

Full scan range Z run-out

< 2 nm,repeatability < 1 nm

COGNEX Pattern Recognition

pattern align resolution of 1/4 pixel

 

Scanner Performances

XY Scanner Range

100 µm × 100 µm (high voltage mode)
10 µm × 10 µm (low voltage mode)

Z Scanner Range

12 μm (high voltage mode)
1.7 μm (low voltage mode)

XY Scanner Resolution

1.5 nm (high voltage mode)
<0.2 nm (low voltage mode)

Z Scanner Resolution

< 0.2 nm

 

AFM and XY Stage
Control Electronics

Controller Processing Unit

600 MHz and 4800 MIPS

Signal ADC & DAC

16-bit, 500 kHz bandwidth, internal lock-in

 

Vibration, Acoustic Noise, and ESD Performances

Floor Vibration

< 0.5 µm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)

Acoustic Noise

>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure

 

Facility Requirements

Room Temperature (Stand By)

10 °C ~ 40 °C


Room Temperature (Operating)

18 °C ~ 24 °C

Humidity

30% to 60% (not condensing)

Floor Vibration Level

VC-E (3 μm/sec)

Acoustic Noise

Below 65 dB

Pneumatics

Vacuum: -60 kPa

Power Supply Rating

100/120 V/ 208~240 V, single phase, 15 A (max)

Total Power Consumption

2 KW (typical)

Ground Resistance

Below 100 ohms

 

Dimensions in mm
& Weight in kg

Acoustic Enclosure

820 (w) × 920 (d) × 1460 (h)
600 kg approx. (incl. basic NX-HDM System)

System Floor Space

1720 (w) × 920 (d)

Operator Working Space

2400 (w) × 2450 (d), minimum (dimension unit: mm)

Control Cabinet

800 (w) × 800 (d) × 1030 (h)
160 kg approx. (incl. controllers)

Ceiling Height

2000 or more

footprint[ Park XE-HDM installation layout ]
 

HDM-Series-仕様