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自動欠陥検査と表面粗さ計測の両アプリケーションにベストマッチしたAFM

ナノスケールの欠陥を特定する作業は、メディアと平面基板を扱う技術者にとって非常に時間のかかるプロセスです。パークNX-HDMは、自動化された欠陥の識別、スキャンおよび分析を通して大いに欠陥レビュープロセスを高速化する原子力顕微鏡検査システムです。パークNX-HDMは直接広範囲にわたる光学的点検ツールとつながり、自動欠陥レビューの処理能力が向上します。またパークNX-HDMは、走査を何回しても、正確な下位オングストローム表面の粗さ測定を提供します。業界最小のノイズフロアとユニークな完全非接触™技術を持つパークNX-HDMは、市場での表面粗さ測定のための最も正確な原子間力顕微鏡です。

 

更にスループットが向上された自動欠陥検査機能(ADR)

ナノスケールの欠陥を特定する作業は、メディアと平面基板を扱う技術者にとって非常に時間のかかるプロセスです。パークNX-HDMは、自動化された欠陥の識別、スキャンおよび分析を通して大いに欠陥レビュープロセスを高速化する原子力顕微鏡検査システムです。パークNX-HDMは直接広範囲にわたる光学的点検ツールとつながり、自動欠陥レビューのスループットが向上します。

 

サブÅの表面粗さ計測

ますます、業界は縮小デバイスの寸法に対処するための超フラットなメディアと基板を必要とします。またパークNX-HDMは、走査を何回しても、正確な下位オングストローム表面の粗さ測定を提供します。業界最小のノイズフロアとユニークな完全非接触™技術を持つパークNX-HDMは、市場での表面粗さ測定のための最も正確な原子間力顕微鏡である。

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