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  • Park 3DM Series
    高分解能3Dメトロロジーの為の
    全自動AFMシステム

高分解能3Dメトロロジーの為の全自動AFMシステム

パークシステムズは革新的なXE-3DMを導入し、オーバーハングプロファイル、高解像度の側壁イメージング、臨界角測定用に完全自動AFMシステムは設計されています。特許を受けた分離されたXYとZ走査システムは、傾斜したZスキャナーとともに、正確な側壁分析における通常のフレアチップ法の課題を克服します。当社の完全非接触モード™を利用する際に、XE-3DMは、高い縦横比先端を備えた柔軟なフォトレジスト表面の非破壊測定を可能にします。

Park NX-3DM

Park NX-3DM


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かつてない正確性

縮小フォームファクターは半導体市場のナノスケールレベルで設計する必要性を押していますが、従来の計測学ツールはナノスケールデザインと製造のために必要とされる正確さが不足していました。パークシステムは躍進していく産業計測学の中で、この挑戦をしています:
 • クロストーク除去(XE)が人工品のない非破壊イメージングを可能にします
 • 新しい3D AFMは、側壁やアンダーカット機能の高解像度イメージングを可能にします。

かつてないスループット

AFMは、ナノスケールの設計を伝承することが出来ましたが、生産品質コントロールで使用向けほど十分速くありませんでした。自動でのインライン製造で使用するためのAFMを可能にして、パークシステムの処理能力における革命的な進歩とともに変化しました。これらは、当社の新しい磁気アプローチが従来の真空技術より高い、99%の成功率を持つ自動先端交換を含みます。また、生データへの完全なアクセスと顧客との本当のパートナーシップは、どのプロセスおよび処理能力最適化にも必要です。

かつてないコスト節減

研究からインライン製造までうまく移行するために、コスト効率の良い方法でナノ計測の正確さおよび、処理能力を伝えなければなりません。パークシステムはより速く、効率的な自動化、より長いチップ寿命の必要性に対処する産業用AFMソリューションで、コストチャレンジをしています。当社は産業用、インライン製造に遅くて高価なSEMを効率的な自動で手頃な価格の3D AFMに置き換えることでコストを削減。新しいデザインの欠陥を特定するために、今日においてメーカーは、トレンチプロファイルと側壁機能変化を特徴づけるための3D情報を必要とします。モジュラーAFMプラットフォームは、迅速なソフトウェアとハードウェアの変更、そして生産品質管理において最も複雑で大変な寸法のための費用効果の改良と、より良い最適化を可能にします。また当社は、少なくともより200%長いAFMチップ寿命で、所有コストを下げます。従来のAFMのタッピング力で先端の摩耗を速く引き起こすが、当社の完全非接触モード™のAFMは、先端品質を維持します。

 

XE-3DM-概要