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    XE-3DM
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高スループットインライン自動計測

自動チップ交換 (ATX)

自動チップ交換機能は自動測定中にプローブの交換を自動的に行ってくれます。レファレンスパターンを計測することでカンチレバーの位置や測定パラメータの最適化の自動キャリブレーションを行います。当社の画期的な磁気的チップ交換方式は 99%の成功率を誇り、従来の真空方式より高い信頼性があります。

 

自動ウエハハンドらラー (EFEM or FOUP)

XE-3DMは、自動ウエハーハンドラー(EFEMまたはFOUPまたは他)を加えることによって、さらにカスタマイズすることができます。高精度の非破壊ウエハーハンドラーロボットアームは、XE-3DMのユーザーのための高速で信頼できるウエハー自動測定を完全に確実なものとします。

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イオン照射システム

XE-3DMは静電気を効果的に取り除く為のイオン照射システムを取り付けることができます。電化を帯びたものにイオン化しますが、コンタミを与えることなしに自動的にその領域にプラスとマイナスのイオンをバランスよく制御するので非常に信頼性があります。また、ウエハのハンドリング中に突発的に生じた静電気も減少させます。

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