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True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode Preserves Sharp Tip

AFMチップは、サンプルに触れると瞬時にそれらを生産する画像の解像度や品質を低下させるほど脆いです。柔らかくて繊細なサンプルの場合は、チップはサンプルを損傷させ、不正確な試料の高さの測定値になり、貴重な手間と費用がかかってしまいます。完全非接触™モード(パークのAFMの特有の走査方式)は、サンプルの完全性を維持しながら、一貫して高解像度および正確なデータを生成します。

Preserves-Sharp-Tip

1:1のアスペクト比で示されるサンプル画像はパークAFMによってとられた、浅い溝隔離の未処理の生データ画像です。深さは、走査型電子顕微鏡(SEM)により確認し、3.7μmです。右上の2つのイメージは、サンプルイメージを20回とっても、先端ウェアがないことを示します。

 

Accurate Feedback by Faster Z-servo Enables True Non-Contact AFM

非接触モード原子力顕微鏡検査の利点と優勢は、先端ウェアでなくサンプル損害なし、高解像度イメージングのメンテナンスとAFM測定の高い正確さと、確立されています。しかしパークだけは、その屈曲性に基づいた高い力のZスキャナを備えた完全非接触™モードを実現しています。完全非接触™モードでは、先端試料間距離が原子間力のネット引力体制で、数ナノメートルにうまく維持されます。先端振動の小振幅は先端試料の相互作用を最小にするため、チップの優れている維持と試料のごく少量の変更を実現ができます。

True Non-Contact™ Mode

non-contact
  • より少ない先端の摩耗=長期の高解像度スキャン
  • 非破壊チップと試料との相互作用=最小化の試料の変更
  • パラメータに非依存的な結果
non-contact-mode

Tapping Imaging

tapping-imaging
  • 速い先端の摩耗=ぼかされている低解像度スキャン
  • 破壊チップと試料との相互作用=試料の損傷と変更
  • 非常にパラメータに依存的
tapping-imaging
 

Industry Leading Z-Servo Speed

パークのAFMは業界では最も高速なZサーボスピードを備えています。順方向および逆方向スキャンの隙間は、高速走査中でも走査範囲の0.15%未満に保たれます。

Fast-Z-Servo-Speed
 

WCフィルム試料の硬質で、摩耗性かつ繊細な特徴は、パークAFMの高速なZサーボスピードの利点を示します。鋭利な先端部が完全非接触™スキャン中に保存されている間に、スキャントレースやリトレースが高速なスキャン速度でも完全に一致します。

 
true non-contact-mode

Park AFM employs industry leading fast Z-servo speed:

最小のZ走査質量と高速DSPサーボ制御によるパーク高速Zサーボモーターは、プローブを引力のぎりぎりの範囲の中からでないようにし、周囲の空気で接触モードAFMを実現できます。

  • 9kHz以上のZ走査帯域幅または、62mm/秒以上の先端速度のZサーボ速度
  • 最適化されたZサーボスピードと最小限のZ走査質量(PSPDとチップ)
  • 時間遅れのない高速なDSPサーボ制御