Park Systems has introduced the revolutionary Park 3DM Series, the completely automated AFM system designed for overhang profiles, high-resolution sidewall imaging, and critical angle measurements. With the patented decoupled XY and Z scanning system with tilted Z-scanner, it overcomes the challenges of the normal and flare tip methods in accurate sidewall analysis. In utilizing our True Non-Contact Mode™, the Park 3DM Series enables non-destructive measurement of soft photoresist surfaces with high aspect ratio tips.
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製品紹介
研究用 生産ライン用 Bio and Chemical - Small Sample AFM
- Park NX-Hivac
- Park NX10
- Park XE7
- Large Sample AFM
- Park NX20 300 mm
- Park NX20
- Park XE15
- Automated AFM
- Park 3DM シリーズ
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- Bio AFMとSICM
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- モードとオプション
- Park AFMモード
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- Operating Software
- Park SmartScan
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