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Dr. Luc Van den hove (President & CEO, Imec) and Dr. Sang-il Park (Chairman & CEO, Park Systems)

 


(2015年2月18日、ソウル、韓国) 、現在世界の原子間力顕微鏡(AFM)のリーダーであるパーク・システムズ社がナノ エレクトロニクス研究センターIMECと共同開発プロジェクト(JDP)の契約に調印し、表面粗さ計測に限らず、厚さ、クリティカル ディメンジョン(CD)或いは側壁粗さ等の将来技術に対するインライン用AFMメトロロジー ソルーションの開発を行う。このJDPでは、半導体企業における生産性とデバイス性能の向上の為の新しいプロトコールが開発される。パーク・システムズ社は、IMECのインダストリアル アフリエーション プログラム(IIAP)に公式に参加し、2015年2月3日の韓国ソウルにおける調印式においてIIAFPの新メンバーになった。

パーク・システムズ社のCEOであるDr. Sang-il Parkは、 "IMECとの共同開発プロジェクトのパートナーになる機会を得て大変喜んでいます"と答え、又 "パーク・システムズとIMECのパートナーシップが、半導体ウエハの供給者や納入業者一連においてサイエンティフィック コラボレーションの重要なリンクを構築できます。そしてこのAFMをベースにしたインライン ナノスケール メトロロジーのJDPにより、重要な未来技術を進化させることができます。"と付け加えた。

このパートナーシップでは、プロセス開発、製造及び不良解析の為の広範囲に渡るAFMメトロロジー ソルーションが開発される。表面粗さ計測においては、ウエハ マッピングや受入れの材料モニタリングにおいて最も正確な表面粗さ計測を可能にする。厚さ計測においては 、既存のエリプソメトリ ソルーションを補間するためにプロセス前後における正確な厚さ値を提供する。更に重要なことは、このパートナーシップによってエッチング、エピ、成膜、或いはリソグラフィ プロセスにおける正確なCD計測、線幅粗さ(LWR)&線端粗さ(LER)計測、及び側壁粗さ計測を可能にする高分解能3D AFMメトロロジーの新しい開拓を推し進めることができる事である。

パーク・システムズ社とIMECのJDPにより、半導体製造会社におけるインライン モニタリングと解析手法を開発し、同時に、半導体デバイス性能や生産性を高める為に必要なより良いプロセス開発と制御を目的にした生産プロトコールの開発を可能にする。例えば、パーク社の新型3D AFMによる垂直平面や円柱形状の高分解能側壁情報は、FinFET、TFET、STT-MRAM 等の垂直構造デバイスの性能に非常に重要になる。半導体デバイスのデザインルールが縮小されるに従い、LER/LWRのCD計測と側壁のバラツキは重要で直接的にリーケージに関連がある為にデバイス性能に直結する。これまでCD-SEM、TEM、或いは OCD がCD計測で使用されてきたが、しかしそれぞれの技術は固有の欠点を持っていた。例えばCD-SEMは分解能の問題と電子ビームによる試料ダメージ、 TEMでは試料プレパレーション作業とビームダメージ、そしてOCDではプロセス開発に関わる長い時間等がある。ここで、ハイブリッド メトロロジーのAFMが、非破壊CD制御用次世代のインラインモニタリングと解析手法 として浮上してきた。最も近年の10年間において、予想されていたようにハイブリッド メトロロジーは大幅な進化を見せた。パーク社の新型3D AFMによるメトロロジーでは、生産性制御の中でクリティカルな要素である詳細側壁情報とナノスケール表面情報が得られる。 パーク・システムズ社とIMECのコラボレーションが、サイエンティスト、エンジニア或いは研究者と言った異なる研究チームのエキスパートが情報統括できるプラットホームを提供し、半導体メトロロジーにおける次世代ソルーションを構築する為に一緒に働くことを可能にした。

Park Systemsについて
パーク・システムズ社は、原子間力顕微鏡(AFM)システムの世界のリーディングカンパニーです。化学、材料、物理、ライフサイエンス、半導体、データストレージ企業の製品研究者や企業エンジニアの全ての領域をカバーするAFM装置を提供しています。 パーク社の製品は世界で1,000以上の研究施設や企業に採用されています。パーク社のAFMは、そのユニークな技術と革新的なエンジニアリングにより、ナノスケール分解能において最も高いデータ精度、より高い生産性及び最も低い運用コストを提供します。パーク・システムズ社は、カルフォルニアのサンタ クララに本社があり、全世界の生産とR&Dセンターが韓国に、US、韓国、日本及びシンガポールには、リージョナルの本社オフィスがあります。ヨーロッパ、アジア及びアメリカに販売ディストリビュータがあります。詳細は、http://www.parkafm.com のホームページ或いは+1- 408-986-1110にお電話をお願いします。 (日本国内の電話番号:03-3219-1002)

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