AFMを専門領域とした長期にわたる実績！

パークシステムズのルーツは、AFM (Atomic Force Microscope：原子間力顕微鏡)が誕生した米国スタンフォード大学にあります。 Sang-il Park (Chairman and CEO of Park Systems)博士は同大学院で応用物理学を専攻し、AFMを考案したグループで研究に携わっていました。その後、Park氏は1989年に、世界で初めてAFMを市販商品とするパークインスツルメント（PSI）社を設立しました。

Park氏はさらに韓国でPSIA社をAFMのリーディングカンパニーとして新たに設立し、2007年にパークシステムズと名前をかえました。20年間にわたる経験をもち新技術導入を続け、パークシステムズはSPM業界で最も歴史の長い会社になっています。また、30カ国以上にグローバ・セールス・ネットワークをもち、世界で1000台以上が使われています。

AFM事業の最長の歴史

  1988 - Park Scientific Instruments (PSI)を米国カリフォルニア州パロアルトに設立

  1989 - 世界初汎用商用AFMを発売開始

  1992 - クローズドループを発売

  1993 - CPシリーズベストセラーAFMを発売開始

  1997 - サーモスペクトラ社がPSI社を買収
PSIA 社を設立　サーモスペクトラ社と次世代 AFM開発で提携。

  1998 - ビーコ社がデジタルインスツルメンツ社を買収。

  1999 - サーモスペクトラ社がトポメトリックス社を買収サーモマイクロスコープ社と合併。

  2001 - ビーコ社がサーモマイクロスコープ社を買収。

  2002 - PSIA社とサーモマイクロスコープ社の提携終了
分離独立されたXYとZスキャナーによるクロストーク除去(XE)原子間力顕微鏡の商品化
XE-100型AFM を世界初の次世代AFMとして PSIA社より発売

  2003 - XEシリーズとして150mm角試料移動可能な XE-150を発売。

  2004 - 完全非接触モードの商品化。

  2006 - XE-PTR型スライダー計測用AFMを発売

  2007 - PSIA社から Park Systemsへ社名変更。

  2008 - 3D AFMの新製品XE-3DM発売。

  2009 - XEバイオ、ICM（イオンコンダクタンス顕微鏡）と蛍光顕微鏡が一体可能なシステムを発売
XE-HDM（ハードディスク媒体および基板用の自動欠陥レビューAFM）発売。

  2011 - NX10 の発表, 真の試料トポグラフィー^TMを与える新ラインナップのフラッグシップAFM

AFMを専門領域とした長期にわたる実績！

AFM事業の最長の歴史

パーク・システムズ社による商用AFM技術の進化