真の試料トポグラフィー

ピエゾのクリープによる誤差を補正するには、ノイズレベルが十分に低く、トポグラフィー信号として使用できる独立した位置センサーを使用する必要があります。パークシステムズの高度なXYZクローズドループ走査機能は、業界最高水準の低ノイズZ位置センサーを用いています。実時間でZスキャナの変位を検知するZ位置センサーを用いることで、高速走査中であってもピエゾのクリープやエッジでのオーバーシュートの影響を受けることなく試料表面の正しい高さを検出することができます。この先進的なクローズドループ走査により、頻繁に煩わしい再校正を行うことなく真のトポグラフィーを得ることができます。

  

低ノイズZ検出器で測定する試料トポグラフィー

Zスキャナへの印加電圧の代わりにトポグラフィー信号に使用できるよう、Z検出器のノイズは十分な低さに抑えられています。Z検出器からの信号により高速走査中のスキャナの正しい位置がわかるため、ピエゾのクリープの影響を受けない真の試料トポグラフィーが得られます。