AFM テクノロジー
クロストーク除去(XE)
完全非接触モードTM
真の試料トポグラフィーTM
パークシステムズSICM
アプリケーションノート
参照

 真の試料トポグラフィー

パークシステムズの真の試料トポグラフィーTMは、高速走査であっても、頻繁に煩わしい再校正を行うことなく、試料表面の形状の正しい高さ計測結果を与えます。ノイズレベルが十分に低く、トポグラフィー信号として使用できる独立した位置センサを使用することで、エッジでのオーバーシュートやピエゾのクリープの影響のない真の試料トポグラフィーTMを実現しています。最高のトポグラフィーを提供するために、業界最高水準の低ノイズZ位置センサによる高度なXYZクローズドループ走査機能を用いています。

業界最高水準の低ノイズ位置センサー

Zクローズドループ検出器のノイズ:0.02 nm
XYクローズドループ検出器のノイズ:0.2 nm
Z検出器の信号をトポグラフィーに使用し、ピエゾのクリープの影響を回避


ピエゾのクリープによる誤差を補正するには、ノイズレベルが十分に低く、トポグラフィー信号として使用できる独立した位置センサーを使用する必要があります。パークシステムズの高度なXYZクローズドループ走査機能は、業界最高水準の低ノイズZ位置センサーを用いています。実時間でZスキャナの変位を検知するZ位置センサーを用いることで、高速走査中であってもピエゾのクリープやエッジでのオーバーシュートの影響を受けることなく試料表面の正しい高さを検出することができます。この先進的なクローズドループ走査により、頻繁に煩わしい再校正を行うことなく真のトポグラフィーを得ることができます。

  

低ノイズZ検出器で測定する試料トポグラフィー

Zスキャナへの印加電圧の代わりにトポグラフィー信号に使用できるよう、Z検出器のノイズは十分な低さに抑えられています。Z検出器からの信号により高速走査中のスキャナの正しい位置がわかるため、ピエゾのクリープの影響を受けない真の試料トポグラフィーが得られます。

 



往復走査時の走査ギャップの最小化

パークシステムズは、低ノイズクローズドループ走査の改良により測定精度を向上させています。フォワード・サインスキャン・アルゴリズムおよび走査範囲の0.15 %未満に抑制された走査ギャップにより、XYスキャナのリンギングを大幅に減少させました。


クロストーク除去TM と真の非接触モードTMが実現した真の試料トポグラフィーTMがパークシステムズのAFMのキー技術であり、SPM業界で最も正確で信頼できる原子間力顕微鏡を実現しました。






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