クロストーク除去

パークシステムズのAFMは、ソフトウェアによるデータ処理を必要とすることなく、非常に正確な高さ測定値や高精度のナノ計測結果を提供します。独自のクロストーク除去技術がこれらを可能としています。このクロストーク除去技術によってスキャナの湾曲が解消されます。光学平面(オプティカルフラット)のような非常に平坦な試料を走査する場合でさえ、またスキャンオフセットを変化させてもバックグラウンドの湾曲が発生するという、他のほとんどのAFM走査が有する問題を生じません。このクロストーク除去技術は走査位置、速度、および範囲に依存することなく実現しています。

パークシステムズのAFMは、2基の独立したフレクシャー方式スキャナを採用し、クロストーク除去技術を実現しています。

	XYスキャナは試料のみを走査 Zスキャナはプローブのみを走査簡単にチップや試料を交換できる空間を確保した設計
このような独自の機構と設計で、他のAFM製品において、特に大面積の試料の場合に妨げになるバックグラウンドの湾曲を生じることがありません。

パークシステムズのAFMによる歪みのない走査を下記に示します。

クロストーク除去技術は走査位置、速度、および範囲に依存することなく1 nm以下の面外運動をXY走査で実現しています。さらにフレクシャーXYスキャナは、どのような走査位置、速度、および範囲でもX軸とY軸の間に生じるカップリングを最小にするように、XおよびY方向の走査を切り離しています。位置センサによる線形フィードバックが高精度・高精密な計測を可能とします。

パークシステムズの高い線形性・直交性XY走査を下記に示します。

フレクシャー方式のXYスキャナーは、走査の位置、速度、および範囲に関係なくX方向とY方向の移動の関連性が最小になるよう、X方向とY方向に別々に走査できるようになっています。位置センサーを使用した線形フィードバック制御により、高精度、高精密な測定を実現します。

業界最高水準のZ走査の直線性

フレクシャー方式のZスキャナの動作はX方向とY方向の走査動作から独立させることで、パークシステムズはクロストーク除去を実現しています。そのため、Z走査を正確に一直線に動作させることができます。フレクシャー方式スキャナのZ走査の直線性は0.015 %未満であり、ナノスケールで正確かつ精密な角度測定を行えます

パークシステムズのAFMはクロストーク除去技術により最も正確なナノレベルでのイメージングデータを提供します。どのような種類の試料や大きさでも表面の歪みを生じることなく、正確で精度の高い角度計測を可能とする平坦性、高線形性および高直交性を有するXY走査を実現しています。